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SENTECH SE 500adv結(jié)合了橢圓偏振法和反射法，消除了測量透明薄膜層厚的模糊性。它將可測量的厚度擴(kuò)展到 25 μm。因此，SE 500adv 擴(kuò)展了標(biāo)準(zhǔn)激光橢偏儀 SE 400adv 的功能，特別適用于分析較厚的電介質(zhì)、有機(jī)材料、光刻膠、硅和多晶硅薄膜。

FTPadv Expert薄膜測量軟件具有FTPadv標(biāo)準(zhǔn)軟件中包含的用戶友好和以配方為導(dǎo)向的操作概念。突出顯示擬合參數(shù)、測量和計算的反射光譜以及主要結(jié)果的光學(xué)模型同時顯示在操作屏幕上。

FTPadv是一種經(jīng)濟(jì)高效的臺式光譜反射解決方案，具有快速厚度測量功能。測量時間不到 100 ms，精度低于 0.3 nm，膜厚范圍為 50 nm – 25 μm。包括一系列預(yù)定義的配方，便于光譜反射儀操作

RM 1000 和 RM 2000 光譜反射儀可測量表面光滑或粗糙的平面或彎曲樣品的反射率。使用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單膜或?qū)盈B的厚度、消光系數(shù)和折射率。厚度分別為 2 nm 和 50 μm （RM 2000） 或 100 μm （RM 1000） 的單片、層疊和基板可以在 UV-VIS-NIR 光譜范圍內(nèi)進(jìn)行分析。

燭龍™系列中的多模態(tài)光電顯微鏡是一臺具有超高穩(wěn)定性的多功能光電綜合測試和微加工系統(tǒng)，可根據(jù)客戶需求提供多種靈活可選的配置和方案。系統(tǒng)集成了電動運(yùn)動臺和振鏡的掃描方式，可實(shí)現(xiàn)瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)下的光電流測試和掃描成像，熒光壽命測試和掃描成像，拉曼光譜測試，二次諧波測試，熒光光譜采集，發(fā)射和吸收等光譜端的測試和掃描成像。除此之外，整套系統(tǒng)可搭配飛秒脈沖激光器和我司自主研發(fā)的低溫系統(tǒng)進(jìn)行相關(guān)的變溫測試以及器件表

CAPELLA系列探針臺支持從晶圓到封裝芯片級的所有LED產(chǎn)品類型（垂直芯片、橫向芯片、倒裝芯片）的電氣和光學(xué)表征。無論您是需要高性能、高性價比還是專業(yè)探針系統(tǒng)，MPI PA 都能提供 LED 晶圓/芯片探針機(jī)系列，以滿足您的嚴(yán)格要求。