一、產(chǎn)品概述：

Nikon NSR G線步進式光刻機是一款專為半導(dǎo)體制造設(shè)計的高精度設(shè)備，該機型采用 G 線光源和優(yōu)良的步進光刻技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率和精確的圖案轉(zhuǎn)移，廣泛應(yīng)用于集成電路（IC）、微處理器和存儲器等電子元件的制造。憑借其良好的成像質(zhì)量和快速的曝光速度，NSR G線非常適合大批量生產(chǎn)，同時其用戶友好的操作界面和自動化功能大大提升了生產(chǎn)效率。這使得 Nikon NSR G線成為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造過程的重要工具，滿足行業(yè)對高質(zhì)量和高效率的需求。

二、設(shè)備用途/原理：

該設(shè)備通過高強度的 G 線光源將掩模上的圖案逐步投影到涂有光刻膠的晶圓表面。光源發(fā)出特定波長的光線，經(jīng)過高分辨率光學(xué)系統(tǒng)，精確地將掩模圖案投影到晶圓上進行曝光。曝光后，光刻膠的化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化，接著進行顯影，去除未曝光或已曝光的光刻膠，從而形成所需的圖案。隨后，采用刻蝕工藝將圖案轉(zhuǎn)移到晶圓材料上，最后去除殘留的光刻膠。這一系列步驟使得 Nikon NSR G線能夠高效地實現(xiàn)復(fù)雜圖形的精確轉(zhuǎn)移，滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造的高標準要求。

三、主要技術(shù)指標：

四、設(shè)備特點

Nikon NSR G線步進式光刻機

光源波長436nm

分辨率優(yōu)于0.65µm

主要用于2寸、4寸、6寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等