金屬有機物化學(xué)氣相沉積設(shè)備

簡要描述：適用于光電應(yīng)用的 Lumina AS/P 金屬有機物化學(xué)氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng)

產(chǎn)品型號：Lumina AS/P
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-06-06
訪問量： 311

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1.產(chǎn)品概述：

Lumina® 系統(tǒng)基于 Veeco 業(yè)界的金屬有機物化學(xué)氣相沉積 (MOCVD) TurboDisc® 技術(shù)，在長時間的生產(chǎn)過程中，其具有均勻性和低缺陷率，帶來出色的產(chǎn)量和靈活性。此外，Veeco 的有技術(shù)也提供均勻的熱控制，可實現(xiàn)的厚度和組合均勻性。該系統(tǒng)提供無縫晶片尺寸過渡，能夠在直徑達 8 英寸的晶片上沉積高質(zhì)量 As/P 外延層。Lumina 系統(tǒng)允許用戶自定義系統(tǒng)以實現(xiàn)大價值。

2.產(chǎn)品應(yīng)用：

VCSEL

3D 傳感

LiDAR

高速數(shù)據(jù)通信

邊緣發(fā)射激光器

先進的光學(xué)通信

硅光電

迷你和微型 LED

4K 和 8K 電視顯示屏

智能手機

可穿戴設(shè)備

AR/VR（增強現(xiàn)實/虛擬現(xiàn)實）

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