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由德國UNITEMP研發(fā)的快速退火爐RTP-150，升溫速率高達 75 K/sec。主要特點：良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時間短、舒適的氣體控制、臺式系統(tǒng)，占地面積小

由德國UNITEMP研發(fā)的符合高真空標準的快速退火爐，升溫速率高達 200 K/sec。主要特點：良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時間短、舒適的氣體控制、臺式系統(tǒng)，占地面積小

德國UNITEMP研發(fā)的符合高真空標準的快速退火爐RTP-100-HV，升溫速率可高達 150 K/sec。主要特點：良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時間短、舒適的氣體控制、臺式系統(tǒng)，占地面積小。

德國UNITEMP研發(fā)的符合真空標準的快速退火爐RTP-100-EP，升溫速率高達 200 K/sec。主要特點：良好的溫度均勻性、精確控制的斜坡上升速率和快速斜坡下降速率、工藝周轉(zhuǎn)時間短、舒適的氣體控制、臺式系統(tǒng)，占地面積小

快速退火爐，升溫速率高達 150 K/sec。

Veeco 的 LSA101 系統(tǒng)安裝在的 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 14nm 節(jié)點的先進邏輯器件的技術。LSA 101 的掃描技術基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺™構建，在均勻性和低應力處理方面具有根本優(yōu)勢。LSA101 系統(tǒng)可實現(xiàn)關鍵的毫秒級退火應用，使客戶能夠保持精確、有針對性的高加工溫度，從而提高設備性能、降低泄漏和提高產(chǎn)量。 標準 LSA